FFU ULPA
  SUPER ULPA
  ULPA [표준형]
  MINI-P ULPA
  HEPA [표준형]
  HEPA [다풍량]
  MINI-P HEPA
  MEDIUM 표준
  MEDIUM FILTER
  HIGH TEMPERATURE HEPA
  THE OTHER FILTER
* 0.05um 입자의 99.999999% 이상의 포집효율
* 반도체,정밀전자 부품공정의 Clean Room에 적용
* MINI-Type에 비하여 내구성이 향상됨
* GEL,TIGHT SEAL,FFU SYSTEM에 적용가능함
* Clean Room Class 1 이하에 사용
* 내산성,내식성을 향상한 Frame 구조
구 분
재료 및 사용조건
FRAME Aluminium+Alumite
MEDIA Glass Fiber
SEPARATOR
Aluminium, Paper
SEALANT Urethane
GASKET Neoprene, EPDM
최고사용온도 120℃
최고사용습도 100% RH
MODEL
풍 량
(CMM)
규 격 (mm)
(H×W×D)
압 력 손 실(mmAq)
초 기
말 기
SU-17
17
610×610×150
25.4
50.8
SU-21
21
610×762×150
SU-34
34
610×1220×150